一、核心測量原理，響應(yīng)快速靈敏
FSM3系列采用硅微加工技術(shù)打造的白金傳感器芯片，核心通過熱分布變化檢測流量。傳感器部與硅基板實(shí)現(xiàn)熱絕緣設(shè)計(jì)，熱容量極小，不僅大幅提升了響應(yīng)速度，還增強(qiáng)了測量靈敏度。其工作原理為：傳感器部內(nèi)置雙溫度傳感器與中間加熱器，無氣流時(shí)溫度分布以加熱器為中心對稱；有氣流時(shí)對稱性被破壞，上下游溫度差轉(zhuǎn)化為電阻值差，隨流量變化而變動(dòng)，逆向流動(dòng)時(shí)溫差顛倒，因此可精準(zhǔn)檢測雙向流量，尤其適用于小流量測量場景。響應(yīng)時(shí)間在設(shè)定OFF時(shí)可低至50msec以下，且響應(yīng)時(shí)間可在50msec~1.5sec間選擇，能有效縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間。
二、測量性能優(yōu)異，覆蓋范圍廣泛
該系列具備高精度測量能力，顯示精度達(dá)±3%F.S.以內(nèi)（二次側(cè)大氣開放），重復(fù)精度±1%F.S.以內(nèi)（二次側(cè)大氣開放），溫度特性±0.2%F.S./℃以內(nèi)（15~35℃、25℃基準(zhǔn)），壓力特性±5%F.S.以內(nèi)，確保在不同工況下測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。流量測量范圍覆蓋極廣，單向測量從15mL/min至1000L/min，雙向測量可實(shí)現(xiàn)-1000~-30mL/min與30~1000mL/min（量程機(jī)型）的全范圍覆蓋，能適配從微小流量到大型流量的各類測量需求。同時(shí)支持流量累計(jì)與峰值保持功能，累計(jì)顯示范圍可根據(jù)機(jī)型覆蓋0~±9999999mL至0~±9999999L，滿足流量統(tǒng)計(jì)需求。
三、多氣體適配，場景兼容性強(qiáng)
FSM3系列具備強(qiáng)大的氣體適配能力，LCD顯示型（滿量程200L/min以下機(jī)型）支持氣體種類切換功能，可通過本體按鈕切換空氣、氮?dú)?、氬氣、二氧化碳及氬?0%+二氧化碳20%混合氣體，切換后模擬輸出可自動(dòng)匹配對應(yīng)氣體特性。同時(shí)提供氧氣專用機(jī)型（本體材質(zhì)編碼5），采用禁油處理規(guī)格，專為氧氣測量場景設(shè)計(jì)，需注意氧氣型不可選擇潔凈規(guī)格，且通入氧氣前需確保未通入其他流體。適用流體需為不含腐蝕成分、灰塵及油霧的干燥氣體，壓縮空氣需符合JIS B 8392-1:2012相關(guān)等級要求。
四、顯示與輸出靈活，功能配置豐富
系列提供兩種顯示方案：LCD顯示型配備4位+4位雙色LCD，支持流量數(shù)值清晰顯示；指示條顯示型采用LED指示條，直觀反饋流量狀態(tài)。輸出方式多樣，模擬輸出支持1-5V電壓輸出（負(fù)荷阻抗50kΩ以上）與4-20mA電流輸出（負(fù)荷阻抗0~300Ω），開關(guān)輸出可選NPN或PNP集電極開路輸出（50mA）。部分機(jī)型具備設(shè)定復(fù)制功能，可通過專用端子快速實(shí)現(xiàn)多臺(tái)設(shè)備參數(shù)統(tǒng)一，提升批量調(diào)試效率。此外，還支持機(jī)種判別信號輸出，適配系統(tǒng)集成需求。
五、防護(hù)等級高，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)
產(chǎn)品防護(hù)等級達(dá)IP65，可在塵埃較多或有水滴飛濺的環(huán)境下安全使用，適配惡劣工業(yè)場景。工作環(huán)境溫度范圍為0~50℃（不得結(jié)露），保存溫度-10~60℃，環(huán)境濕度耐受90%RH以下，壓力范圍支持-0.09~1.00MPa（部分機(jī)型-0.09~0.75MPa），耐壓力達(dá)1.5MPa，具備較強(qiáng)的環(huán)境耐受能力。同時(shí)提供潔凈規(guī)格選項(xiàng)，P70規(guī)格采用防發(fā)塵包裝（潔凈工作臺(tái)1000級以上封裝），P80規(guī)格額外對氣體接觸部進(jìn)行脫脂清洗，適配高潔凈需求場景；部分機(jī)型支持ATEX對應(yīng)，符合防爆相關(guān)要求。
六、安裝便捷，適配性靈活
安裝方式靈活多樣，支持垂直與水平自由安裝，無需嚴(yán)格限制安裝方向（縱向安裝需注意對流影響）。配管口徑選擇豐富，涵蓋Rc、G、NPT多種螺紋規(guī)格，從1/8到1/2不等，可精準(zhǔn)匹配不同管路系統(tǒng)。多數(shù)機(jī)型無需特殊直管導(dǎo)入部，500L/min、1000L/min機(jī)型僅需使用內(nèi)徑9mm以上配管即可保障測量精度，大幅降低安裝空間與管路設(shè)計(jì)要求。產(chǎn)品重量輕，不同配管口徑機(jī)型重量在580~750g之間，便于集成到各類設(shè)備中。
七、安全可靠，符合多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)
內(nèi)置電源逆接保護(hù)回路，可有效防護(hù)誤接線導(dǎo)致的設(shè)備損壞，提升使用安全性。電氣性能穩(wěn)定，絕緣電阻達(dá)100MΩ（DC500V兆歐表）以上，符合EMC指令（EN55011、EN61000-6-2等），同時(shí)滿足RoHS與CE認(rèn)證要求。核心部件采用高品質(zhì)材質(zhì)，傳感器本體為SUS316L不銹鋼，密封件選用FKM氟橡膠等耐腐蝕材質(zhì)，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行，流路中不使用樹脂，特別適用于禁止排氣的工序場景。
